Martínez YAR. Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición. RT [Internet]. 8 de octubre de 2009 [citado 3 de julio de 2024];1(4). Disponible en: http://revistas.ut.edu.co/index.php/tumbaga/article/view/73